高介电常数栅电介质/金属栅极的FA CMP技术
高介电常数栅电介质和金属栅极技术(以下简称HKMG)使摩尔定律在45/32纳米节点得以延续。目前的HKMG工艺有两种主流整合方案,分别是先栅极和后栅极。后栅极又称为可...
高介电常数栅电介质和金属栅极技术(以下简称HKMG)使摩尔定律在45/32纳米节点得以延续。目前的HKMG工艺有两种主流整合方案,分别是先栅极和后栅极。后栅极又称为可...
介质在外加电场时会产生感应电荷而削弱电场,介质中的电场减小与原外加电场(真空中)的比值即为相对介电常数(relative permittivity或dielectric constant),又称诱电率...
我们先不分析,先接续介绍关于真空介电常数的概念。介质在外加电场时会产生感应电荷而削弱电场,介质中的电场减小与原外加电场(真空中)的比值即为相对介电常数(relat...
雷达探测原理是一种通过发射高频电磁波并分析其在地下介质中的传播、吸收以及反射等物理特性,查明相对介电常数存在较大差异的目标体(或地质体)的一种电磁波探测方法...
这样的差异让科学家也感到很困惑,理论上在那场碰撞之前,地球已经完全分化了地核、地幔和地壳,而月球只是碎片云聚集的产物,所以预想中的月球金属含量是贫瘠的。对此...
不同用途的硅胶有不同的介电常数,在电气行业中所用的高介电常数硅胶的介电常数高达(1KHZ)20-30;电子领域内目前主流散热器所用导热硅胶片的介电常数都大于5.1...
“为了增强石墨烯与基于硅的半导体工艺的兼容性,应在低于 400°C 的温度下在半导体衬底上进行晶圆级石墨烯生长。” SAIT的石墨烯项目负责人兼首席研究员 Shin Hyeo...
【思路】这道题,首先要明确,相对介电常数是电介质极化程度的表征参量,极化程度越大,相对介电常数越大,因此关键是要分析受潮对电介质极化的影响。 那么具体受潮会...
根据物质的介电常数可以判别高分子材料的极性大小。通常,相对介电常数大于3.6的物质为极性物质;相对介电常数在2.8~3.6范围内的物质为弱极性物质;相对介电常数小于2.8...
近日,应用材料公司推出Centura®Carina™Etch系统用于世界上最先进晶体管的刻蚀。运用创新的高温技术,它能提供45纳米及更小技术节点上采用高K介电常数/金属...